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AuSnダイボンダー
キャンステム・サブマウント・LDの金共晶用自動ボンダー |
レーザー用ワイヤーボンダー
キャンステム・サブマウント・LDのワイヤーボンダー |
基板LEDダイボンダー
一般サイズ、銀ペースト自動ダイボンダー
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基板LED（長尺用）ダイボンダー
長尺基板、銀ペースト自動ダイボンダー
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基板LED（長尺用）ワイヤーボンダー
Au線自動ワイヤーボンダー |
チップ部品マウンター
モジュール用チップ部品の多機能マウンター
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小型セラミック基板専用マウンター
チップ部品のクリーム半田ディスペンス、
接着用小型マウンター
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ヒートサイクル炉
完成品の温度・湿度検査用恒温槽
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セミオート順送プレス
リードフレームタイバー切断用
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トランスファーモールドプレス
リードフレームエポキシ樹脂成型用
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 新規設備 |
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SW22UHプラズマ洗浄ユニット付ワイヤーボンダー
動作説明
SW22UHプラズマ洗浄ユニットはアルゴンガスを使用し洗浄します。
１．チャンバー内を真空にしアルゴンガスを導入します。
２．チャンバ内に導入されたガスをプラズマ化しワークを洗浄します。 |
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設備全体 |
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プラズマ洗浄ユニット部 |
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チャンバー部 |
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チャンバーを開いた状態 |
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チャンバー内部 |
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ワークを置いた状態 |
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ワークを置いた状態 |
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洗浄可能ワークサイズ |
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プラズマ条件設定画面 |
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洗浄条件範囲 |
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ガス流量：0〜10ml/min
RF入射：0〜500W
処理時間：0〜999ｓ
（処理時間はMAX120ｓ程度） |
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